MEMS 传感器技术产业与我国发展路径研究

doi:10.12267/j.issn.2096-5931.2021.03.011

信息通信技术与政策 ›› 2021, Vol. 47 ›› Issue (3): 66-70.doi: 10.12267/j.issn.2096-5931.2021.03.011

MEMS 传感器技术产业与我国发展路径研究

Research on MEMS sensor technology industry and the roadmap of China

邸绍岩,焦奕硕

中国信息通信研究院信息化与工业化融合研究所,北京100191

出版日期:2021-03-15 发布日期:2021-03-31
作者简介:
邸绍岩:中国信息通信研究院信息化与工业化融合研究所数字技术与应用研究部工程师,主要从事集成电路、半导体材料、MEMS 传感器以及5G 中高频器件等方面的研究工作
焦奕硕:中国信息通信研究院信息化与工业化融合研究所数字技术与应用研究部工程师,主要从事云计算、人工智能和城市智慧化等方面的研究工作

DI Shaoyan , JIAO Yishuo

Informatization and Industrialization Integration Research Institute, China Academy of Information and Communications Technology, Beijing 100191, China

Online:2021-03-15 Published:2021-03-31

摘要/Abstract

摘要： 随着全球跨入万物互联时代,传感器产业迎来爆发式增长。MEMS 传感器因其体积小、灵敏度高、可靠性强的优势逐渐占据主流。当前,我国在MEMS 传感器设计、制造、封装、测试等关键产业链环节均取得了长足的进步,但与国际先进水平相比,仍存在诸多差距与短板。根据当前产业发展现状,建议我国在关键技术攻关、产业协同发展以及加大政策支持等方面发力,进一步带动我国MEMS 传感器产业全面提升。

关键词: MEMS, 传感器, 产业链

Abstract: As the world enters the era of IoT, the sensor industry has ushered in explosive growth. MEMS sensors gradually become the mainstream due to their advantages of small size, high sensitivity and strong reliability. At present, China has made great progress in MEMS industry such as MEMS sensor design, manufacturing, packaging, and testing. However, there are still many shortcomings. According to the current status of China's MEMS industrial development, we recommend that China focus on key technology breakthroughs, industry coordinated development, and releasing encouragement policies to further promote the overall improvement of China's MEMS sensor industry.

Key words: MEMS, sensor, industry chain

邸绍岩, 焦奕硕. MEMS 传感器技术产业与我国发展路径研究[J]. 信息通信技术与政策, 2021, 47(3): 66-70.

DI Shaoyan , JIAO Yishuo. Research on MEMS sensor technology industry and the roadmap of China[J]. Information and Communications Technology and Policy, 2021, 47(3): 66-70.

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Research on MEMS sensor technology industry and the roadmap of China

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