表面微观缺陷检测方法及其应用研究

信息通信技术与政策

表面微观缺陷检测方法及其应用研究

陈虎, 王成, 卢仁谦

Research on surface micro-defect detection method and application

CHEN Hu, WANG Cheng, LU Renqian

信息通信技术与政策 . 2021, (1): 20 -26 . DOI: 10.12267/j.issn.2096-5931.2021.01.005